• 起歪体（きわいたい）と静電容量変位計で高分解能微小力測定
• ダイナミックレンジ８０ｄｂ 小型で軽量
• 最小分解能10μＮ
• 荷重方向、摩擦方向の2軸を同時測定可能
• センサ単体での販売も可能（静電容量式変位計が必要です）

センサ主要部：

• 静電容量変位計を使用

起歪体：

• アルミブロックの中空構造、3本の柱を板バネとして微小外力により板バネに歪変位を得る

検出方法：

• 板バネの変位をセンサプローブで静電容量の変化として捉える
• 板バネとセンサプローブ間に特殊保持機構を設け、微小なギャップ調整を行い取り付ける
• 起歪体の外力による変位量は弾性限界内で外力の強さに比例するため、変位量を静電容量変位計で測定
• 外力を間接的に計測している起歪体の前後にストッパーを設け、センサの破損を回避できる