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AISTと共同研究、ヘッド固定用治具製作

 
画期的な角度センサの登場です
 
半導体レーザ(LD)と分割型フォトダイオード(PD)の独自の光学系の採用で斬新なダウンサイジングと検出速度の高速化が実現できました。光電式2軸オートコリメータと並ぶ高精度 を達成しました。品質管理の測定器として、装置に常駐させる角度センサとして、角度計測の要望をフレキシブル・簡単に解決する画期的なセンサです。
 光源が赤色レーザのため、セッティングが容易にできます。
前 面 裏 面 セ ン サ 部

東北大学機械系ナノシステム研究センターと、
弊社(技術協力:ファイブラボ株式会社)との共同開発により生まれました

 

特 長

  • 独自の光学系を採用
    半導体レーザ(LD)と分割型フォトダイオード(PD)を組み合わせることにより、対物レンズの焦点距離に依存しない角度検出原理を確立した。

  • 小型化かつ高分解能
    レンズの焦点面上の光スポットのサイズを小さくすることで、焦点距離が短く、しかも計測感度が上がる傾向に着目し、画期的な小型化と高分解能を実現した。

  • 高速応答性
    分割型PD素子の使用で従来の素子よりも検出速度が速くなり、高速応答性が可能となった。

  • 赤色レーザ光
    測定するポイント位置が見えるので最初のセッティングが非常に容易。

東北大学工学研究科

 


測定距離250mmでの2軸角度測定の校正データ

機械系精密ナノシステム研究センターと弊社の産学共同開発製品

 

センサ部

測定範囲 ±100秒(2軸)
分解能 0.05秒 *使用環境による
(応答周波数5KHz時)
応答周波数 5KHz (アナログ出力)
測定距離 30〜300mm
レーザスポット径 φ2mm
測定軸 2軸
光源 635nm半導体レーザダイオードクラスU
外型寸法 39W×49D×23Hmm
ヘッド重量 140g

上記以外の特注品については別途ご相談に応じます

     独自の光学系を採用
半導体レーザ(LD)と分割型フォトダイオード(PD)を組み合わせることにより、対物レンズの焦点距離に依存しない角度検出原理を確立できました。
     小型化かつ高分解能
レンズの焦点面上の光スポットのサイズを小さくすることで、焦点距離が短くしかも計測感度が上がる傾向に着目し、画期的な小型化と高分解能を実現しました。
     高速応答性
分割型PD素子の使用で従来の素子よりも検出速度が速くなり、高速応答性が可能となりました。
     簡単角度測定
光源が赤色レーザのため、測定するポイント位置が見えますので、最初のセッティングが非常に容易にできます。高分解能の角度測定が簡単にできます。

表示器付アンプ

入力電源 ACアダプタ100V
表示最小桁 0.01秒・2軸
アナログ出力(2軸) ±10VDC
質量 約980g
外形寸法(mm) 66(H)×160(W)×160(D)

ゼロセット機能、スムージング機能、入力レベル表示(10段階バー表示)、RS-232C・USB 出力付

  簡易データ処理ソフトつき
 WindowsXPで動作確認済みです。インストーラー付きなので、インストールも簡単です。
 CSVファイルに変換もできるので、エクセルなど表計算ソフトとデータを共用できます。
 2軸の角度の微少な変化がモニタしやすくなっています。
 
     主なアプリケーション  簡単に微小角度が測定できます

簡単微小角度測定

  • 断面直線の真直形状
  • カンチレバーの振れ角
  • スピンドル振れ回り量
  • 精密加工部品の平行度
  • 精密加工部品の直角度など
    あらゆる微小角度測定に応用できます
HDDヘッド傾き測定
(オプション)
ステージ運動誤差測定 加工面形状測定
(オプション)
     
 
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