• マイクロ・ナノトライボロジーシリーズ摩擦摩耗試験機のメインセンサ部
• 起歪体（きわいたい）と静電容量変位計で高分解能微小力測定
• ダイナミックレンジ８０ｄｂ 小型で軽量
• 最小分解能５μＮ
• センサプローブ取付方向により押込・引張または双方の微小な測定が可能
• センサ単体での販売も可能（静電容量式変位計が必要です）
• マイクロ・ナノトライボロジー分野で多方面の実績あり

センサ主要部：

• 静電容量変位計を使用

起歪体：

• アルミブロックの中空構造、４本の柱を板バネとして微小外力により板バネに歪変位を得る

検出方法：

• 板バネの変位をセンサプローブで静電容量の変化として捉える
• 板バネとセンサプローブ間に特殊保持機構を設け、微小なギャップ調整を行い取り付ける
• 起歪体の外力による変位量は弾性限界内で外力の強さに比例するため、変位量を静電容量変位計で
• 測定し、外力を間接的に計測している起歪体の前後にストッパーを設け、センサの破損を回避できる
• 測定方向の自由度もあるため、水平・垂直等、測定する向きにも対応できる